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公告公示

浙江廣芯微電子有限公司 6英寸高端特色硅基晶圓代工項目（先行）竣工環(huán)境保護驗收公示

2024-06-14 15:25:30 zjqxhj 467

根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境保護管理條例》和《建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收暫行辦法》要求，2024年6月7日，浙江廣芯微電子有限公司邀請相關(guān)單位人員及專家組成驗收工作組

，根據(jù)浙江齊鑫環(huán)境檢測有限公司編制的《浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目先行竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測表》（QX(竣)20240504），嚴(yán)格依照國家有關(guān)法律法規(guī)

、建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收技術(shù)規(guī)范

、本項目環(huán)境影響評價報告表和審批部門審批意見等要求對本項目進行驗收現(xiàn)場檢查

，提出現(xiàn)場檢查意見如下：

一、工程建設(shè)基本情況

、建設(shè)地點

、規(guī)模、主要建設(shè)內(nèi)容

浙江廣芯微電子有限公司位于浙江省麗水市蓮都區(qū)南明山街道七百秧街122號

，總占地面積98781m²

，新建廠房、倉庫及附屬設(shè)施

，實施6英寸高端特色硅基晶圓代工項目

。項目主要采用光刻、刻蝕

、離子注入

、擴散、臺面腐蝕等生產(chǎn)技術(shù)

，購置涂膠機

、曝光機、顯影機

、干刻機等國產(chǎn)

、進口設(shè)備。目前形成年產(chǎn)60萬片6英寸高端特色硅基晶圓的生產(chǎn)能力

。

項目工作制度及定員：本項目勞動定員300人

，年工作日為360天，生產(chǎn)部門實行三班制（8640h）

，行政部門單班制

，廠區(qū)內(nèi)設(shè)職工食堂和宿舍。

、建設(shè)過程及環(huán)保審批情況

公司于2022年8月委托麗水市環(huán)科環(huán)保咨詢有限公司編制了《浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目環(huán)境影響報告表》

，并于2022年9月9日取得了麗水市生態(tài)環(huán)境局（麗水經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)環(huán)境保護局）《關(guān)于浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目環(huán)境影響報告表的審查意見》麗環(huán)建開[2022]33號文件。項目2022年10月開工

，2024年3月投入試生產(chǎn)

，目前形成年產(chǎn)60萬片6英寸高端特色硅基晶圓的生產(chǎn)能力。項目于2023年4月進行排污許可登記

，編號《91331100MA7AR3LT51001Y》

。

3、投資情況

項目實際總投資為55000萬元

，環(huán)保實際投資額為6170萬元，占項目實際總投資的11.2%

。

、驗收范圍

本次驗收為浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目先行驗收

，驗收產(chǎn)能為年產(chǎn)60萬片6英寸高端特色硅基晶圓（30萬片溝槽肖特基二極管、30萬片平面VDMOS）

。

二

、工程變動情況

根據(jù)項目《竣工環(huán)保驗收監(jiān)測表》及現(xiàn)場檢查：項目部分廠房設(shè)備未建設(shè)，驗收產(chǎn)能為年產(chǎn)60萬片6英寸高端特色硅基晶圓（30萬片溝槽肖特基二極管

、30萬片平面VDMOS）

；其它建設(shè)情況與環(huán)評基本一致，無重大變動

。

三

、環(huán)境保護設(shè)施建設(shè)情況

1、廢水

項目產(chǎn)生的廢水主要有生活污水

、生產(chǎn)廢水（工藝酸堿廢水

、含氟廢水、研磨廢水

、有機廢水

、純水制備系統(tǒng)廢水和廢氣洗滌塔廢水）。

工藝酸堿廢水和廢氣洗滌塔廢水進入酸堿廢水處理系統(tǒng)（TW001）處理

，含氟廢水進入進含氟廢水處理系統(tǒng)（TW002）處理

，研磨廢水排入研磨廢水處理系統(tǒng)（TW003）處理，有機廢水進入進有機廢水處理系統(tǒng)（TW004）處理

。上述工藝廢水分質(zhì)分流處理后達到《電子工業(yè)水污染排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中表1間接排放限值（其中氨氮排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮

、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標(biāo)準(zhǔn)限值）后與純水制備系統(tǒng)廢水匯至生產(chǎn)廢水標(biāo)排口DW002，標(biāo)排口安裝在線監(jiān)測

，后廢水進入污水總排口DW001與經(jīng)化糞池或隔油池預(yù)處理后的生活污水納管排放

，所有廢水最終進入水閣污水處理廠處理達標(biāo)后排放

。具體處理工藝及處理能力（120t/d）詳見驗收監(jiān)測報告。

2、廢氣

本項目廢氣主要為酸性廢氣

、堿性廢氣、有機廢氣

、其他工藝尾氣

、廢氣處理裝置天然氣燃燒廢氣、污水處理站廢氣和少量化學(xué)品儲存和使用廢氣

。

濕法蝕刻酸性廢氣設(shè)置通風(fēng)柜收集進入一套酸性廢氣處理系統(tǒng)（TA001

，4堿液噴淋塔3用1備）處理后由30m排氣筒（DA001）排放，總排風(fēng)量為243000m³/h

；項目不含砷工藝尾氣采用電熱+水洗SCURBBER凈化裝置處理后尾氣再納入酸性廢氣處理系統(tǒng)（TA001）處理后最終由30m排氣筒（DA001）排放

；項目含砷工藝廢氣采用干式吸附SCURBBER凈化裝置處理+二級吸附處理系統(tǒng)處理后納入酸性廢氣處理系統(tǒng)（TA001）處理，最終由30m排氣筒（DA001）排放

；堿性廢氣設(shè)置堿性廢氣處理系統(tǒng)（TA002

，3臺酸液噴淋塔2用1備）對堿性廢氣進行處理后由30m排氣筒（DA002）排放

，總排風(fēng)量為62000m³/h；有機廢氣收集后經(jīng)過沸石轉(zhuǎn)輪&直接燃燒+深度過濾系統(tǒng)（TA003）進行處理后由30m排氣筒（DA003）排放

，總排風(fēng)量為82500m³/h

，天然氣燃燒廢氣經(jīng)有機廢氣排氣筒（DA003）和處理后的有機廢氣一同排放。酸堿廢水處理系統(tǒng)廢氣采用1套堿液噴淋處理設(shè)施（TA004）處理后經(jīng)30m排氣筒（DA004）排放

，最大風(fēng)量為3000m³/h

；有機廢水處理系統(tǒng)廢氣采用1套堿液噴淋處理設(shè)施（TA005）處理后經(jīng)30m排氣筒（DA005）排放，最大風(fēng)量為20000m³/h

。公司生產(chǎn)廠房一層化學(xué)品供應(yīng)間設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)

，根據(jù)供應(yīng)化學(xué)品的性質(zhì)將排風(fēng)與廠區(qū)酸、堿和有機排風(fēng)系統(tǒng)連接

，將化學(xué)品供應(yīng)過程中揮發(fā)的廢氣排入相應(yīng)的廢氣處理系統(tǒng)排放

；化學(xué)品倉庫均設(shè)置應(yīng)急系統(tǒng)，收集處置突發(fā)環(huán)境事件中揮發(fā)或散逸的廢氣后達標(biāo)排放

。

、噪聲

項目噪聲主要為機械設(shè)備的運行噪聲。通過合理布局和選用低噪設(shè)備等措施來降低設(shè)備運行時產(chǎn)生的噪聲以及減少對周邊環(huán)境的影響

。

、固廢

項目危險廢物有廢堿液、廢酸液

、廢有機溶劑

、含金屬廢液、廢抹布（沾染化學(xué)物質(zhì)）

、廢過濾芯

、廢化學(xué)品包裝材料、廢鉛酸電池和鎘電池

、廢汞燈

、廢礦物油、廢填料

、廢吸附過濾介質(zhì)

、含氟污泥、研磨污泥

；一般固體廢物有有機污泥

、廢離子交換樹脂、廢靶材

、一般廢包裝材料

、廢拋光墊、不合格品、一般廢過濾介質(zhì)和生活垃圾

。

廢堿液

、廢酸液委托浙江威爾森新材料有限公司和浙江育隆環(huán)保科技有限公司處置

；廢礦物油、廢有機溶劑

、含金屬廢液委托浙江育隆環(huán)?div id="m50uktp" class="box-center"> ？萍加邢薰咎幹?/span>；廢鉛酸電池和鎘電池

、廢汞燈委托麗水光大環(huán)保固廢處置有限公司處置

；廢抹布（沾染化學(xué)物質(zhì)）、廢過濾芯

、廢化學(xué)品包裝材料

、廢填料、廢吸附過濾介質(zhì)

、含氟污泥

、研磨污泥委托浙江育隆環(huán)保科技有限公司和麗水光大環(huán)保固廢處置有限公司處置

；廢靶材

、一般廢包裝材料、廢拋光墊

、不合格品外售至物資回收單位

；有機污泥、廢離子交換樹脂

、一般廢過濾介質(zhì)和生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門清運處置

。

5、其它

企業(yè)生產(chǎn)廢水標(biāo)排口（DW002）已安裝在線監(jiān)測

；已基本落實環(huán)境風(fēng)險防范措施

，設(shè)有1座應(yīng)急池1200m³，位于動力站

，并制定了環(huán)境風(fēng)險事故應(yīng)急預(yù)案

，已備案（331102-2023-49-M）。

四

、環(huán)境保護設(shè)施調(diào)試效果

、廢水

根據(jù)監(jiān)測結(jié)果，公司外排廢水經(jīng)預(yù)處理后各指標(biāo)濃度能達到《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中表1間接排放限值要求

，其中氨氮排放能達到《工業(yè)企業(yè)廢水氮

、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標(biāo)準(zhǔn)限值要求，五日生化需氧量排放能達到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）中三級標(biāo)準(zhǔn)要求。

有機廢水處理設(shè)施對化學(xué)需氧量

、石油類

、和五日生化需氧量的去除率分別能達到82.56%、79.14%

、81.63%

。酸性廢水處理設(shè)施對氨氮、總氮

、總磷的去除率分別能達到37.69%

、46.15%、46.36%

。含氟廢水處理設(shè)施對氟化物的去除率能達到41.88%

。研磨廢水處理設(shè)施對懸浮物的去除率能達到76.66%。

、廢氣

無組織排放：公司廠界無組織排放監(jiān)控點非甲烷總烴

、硫酸霧、氟化物

、氯化氫

、氨、氮氧化物

、氯氣

、顆粒物、臭氣濃度和砷均能達到《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）中無組織排放監(jiān)控濃度限值

、北京市《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB11/501-2017）表3II時段標(biāo)準(zhǔn)限值和《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）廠界標(biāo)準(zhǔn)

。

有組織排放：項目各廢氣處理設(shè)施排放口的顆粒物、氟化物

、氯化氫

、氮氧化物、硫酸霧

、非甲烷總烴

、氯氣排放濃度和速率均能達到《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）中新污染源大氣污染物最高允許排放濃度的二級標(biāo)準(zhǔn)值要求，有組織排放的砷及其化合物

、氨能達到北京市《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB11/501-2017）表3II時段標(biāo)準(zhǔn)要求

。

周邊敏感目標(biāo)北師大麗水實驗學(xué)校環(huán)境空氣中氮氧化物、氨氣

、氯化氫

、氟化物、總懸浮顆粒物能達到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及修改單中的二級標(biāo)準(zhǔn)和環(huán)評建議值要求

。

、噪聲

驗收監(jiān)測期間

，項目廠界東側(cè)、南側(cè)晝間

、夜間噪聲均達到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）中3類標(biāo)準(zhǔn)要求

，廠界西側(cè)、北側(cè)能達到4類標(biāo)準(zhǔn)要求

。

、總量控制情況：根據(jù)驗收期間監(jiān)測結(jié)果核算，項目實際排放量為COD：21.12t/a

、NH₃-N：1.056t/a

、SO₂：0.07t/a、NO_X：0.632t/a

，符合環(huán)評總量控制要求。

五

、驗收現(xiàn)場檢查結(jié)論

依據(jù)《建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收暫行辦法》（國環(huán)規(guī)環(huán)評[2017]4號）

，浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目先行環(huán)保手續(xù)齊全。根據(jù)《浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目先行竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測表》等資料及環(huán)境保護設(shè)施現(xiàn)場檢查情況

，企業(yè)基本按照建設(shè)項目環(huán)境保護“三同時”的有關(guān)要求落實了各項環(huán)境保護設(shè)施與措施

。驗收組建議通過建設(shè)項目竣工環(huán)保驗收，并按要求公示驗收情況

。

浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目驗收監(jiān)測表（齊鑫2024.6.14）.pdf

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