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公告公示

浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行竣工環(huán)境保護驗收公示

2024-06-14 13:50:00 zjqxhj 348

根據(jù)《建設項目環(huán)境保護管理條例》和《建設項目竣工環(huán)境保護驗收暫行辦法》要求

，2024年5月30日

，浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司邀請相關單位人員及專家組成驗收工作組

，根據(jù)浙江齊鑫環(huán)境檢測有限公司編制的《浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測表》（QX(竣)20240503）

，嚴格依照國家有關法律法規(guī)

、建設項目竣工環(huán)境保護驗收技術(shù)規(guī)范

、本項目環(huán)境影響評價報告表和審批部門審批意見等要求對本項目進行驗收，內(nèi)容如下：

一

、工程建設基本情況

、建設地點、規(guī)模

、主要建設內(nèi)容

浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司位于麗水市蓮都區(qū)成大街618號地塊

，地塊總占地面積92659m²

，在該地塊新建廠房

、倉庫及附屬設施，實施大直徑硅片外延項目

。項目主要采用SC-1清洗、清洗

、外延

、檢測的生產(chǎn)技術(shù)工藝

，購置外延爐、洗凈機

、顆粒測試儀等國產(chǎn)及進口設備，建成現(xiàn)狀年產(chǎn)40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片的生產(chǎn)能力

。

項目工作制度及定員：本項目勞動定員192人

，實行三班制工作制度

，年工作300天

，廠區(qū)內(nèi)設有食堂和宿舍

。

2、建設過程及環(huán)保審批情況

公司于2022年5月委托麗水市環(huán)科環(huán)保咨詢有限公司編制了《浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延片項目環(huán)境影響報告書》

，并于2022年5月30日取得麗水市生態(tài)環(huán)境局出具的《關于浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延片項目環(huán)境影響報告書的審批意見》（麗環(huán)建開[2022]23號）

。項目2022年5月開工

，2023年7月投入試生產(chǎn)，目前形成年產(chǎn)40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片的生產(chǎn)能力

。項目已進行排污許可登記，編號《91331100MA7BF2F296001W》

，有效日期為2022年9月29日-2027年9月28日

。

、投資情況

項目實際總投資為350000萬元，環(huán)保實際投資額為6000萬元

，占項目實際總投資的1.71%

。

4、驗收范圍

本次驗收為浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行驗收

，驗收產(chǎn)能為年產(chǎn)40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片。

二

、工程變動情況

根據(jù)項目《竣工環(huán)保驗收監(jiān)測表》及現(xiàn)場檢查：項目部分廠房設備未建設，驗收產(chǎn)能為年產(chǎn)40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片

；根據(jù)生產(chǎn)設備布局情況增加2套堿液噴淋塔（合計為4套）

；公司針對氣站酸性氣體（氯化氫）增設堿性噴淋塔處理后15m排氣筒排放

，針對污水處理臭氣微負壓收集增設噴淋塔處理后25m排氣筒排放；其它建設情況與環(huán)評基本一致

，無重大變動

。

三、環(huán)境保護設施建設情況

、廢水

項目產(chǎn)生的廢水主要有生活污水、初期雨水

、生產(chǎn)廢水（硅片洗凈機工藝廢水、片盒預洗凈機清洗廢水

、石英件洗凈機工藝廢水、scubber除害裝置廢水）

、公用廢水（蒸汽冷凝水及排污水、離子水制備濃縮水

、純水制備反沖洗水和廢氣洗滌塔廢水）。

生活廢水經(jīng)化糞池或隔油池預處理后的生活污水納管排放

；初期雨水經(jīng)收集池（720m³）收集后引入終端沉淀池處理后納管排放

。

硅片洗凈工藝廢水主要有酸堿廢水

、含氟廢水

、含氨廢水

，各自進入污水站內(nèi)已建的含氨廢水

、含氟廢水、酸堿廢水處理系統(tǒng)處理處理

；片盒洗凈機清洗廢水進入污水站酸堿廢水處理系統(tǒng)處理；石英件洗凈機廢水進入污水站含氟廢水處理系統(tǒng)處理

；scubber除害廢水進入污水站酸堿廢水處理系統(tǒng)處理；鍋爐排污水、純水制備反沖洗水和廢氣洗滌塔廢水進入污水站酸堿廢水系統(tǒng)處理

，上述廢水處理后引入終端沉淀池處理后納管排放；蒸汽冷凝水回用于生產(chǎn)

；離子水制備濃縮水納管排放。各類廢水最終進入水閣污水處理廠處理達標后排放

，具體處理工藝及處理能力詳見驗收監(jiān)測報告。

、廢氣

本項目廢氣主要為硅片清洗產(chǎn)生的酸性廢氣

、堿性廢氣

、外延廢氣、鍋爐燃燒廢氣

、污水站臭氣、氣站廢氣

、食堂油煙。

酸性廢氣槽內(nèi)負壓收集后進入4套廢氣洗滌塔（堿液噴淋）處理后各通過4根25m高排氣筒排放

。

堿性廢氣槽內(nèi)負壓收集后進入酸液洗滌塔處理后通過1根25m高排氣筒排放。

外延廢氣經(jīng)外延爐尾部自帶尾氣處理器（local scrubber）兩級水洗處理后匯總至樓頂5套噴淋塔+吸附裝置二次處理后經(jīng)5根25m排氣筒排放

。

鍋爐燃燒廢氣收集引至25m排氣筒排放

。

污水站臭氣設置負壓集氣管道收集引至樓頂一套“噴淋塔”處理后25m排氣筒排放。

氣站房內(nèi)的酸性氣體（氯化氫）收集引至一套“堿性噴淋塔”處理后于15m排氣筒排放

。

食堂油煙經(jīng)油煙凈化裝置處理后樓頂高空排放

。

、噪聲

項目噪聲主要為機械設備的運行噪聲。通過合理布局和選用低噪設備等措施來降低設備運行時產(chǎn)生的噪聲以及減少對周邊環(huán)境的影響

。

4、固廢

項目危險廢物有含汞廢片

、廢水處理污泥污泥、危廢包裝容器

、職工生活垃圾

、廢次品、廢滲透膜

、廢吸附棉

、廢活性炭、廢機油

。

含汞廢片

、廢水處理污泥、危廢包裝容器

、廢吸附棉、廢機油

、分類收集暫存危廢間內(nèi)，委托光大綠保固廢處置（溫嶺）有限公司處置

；廢次品回收綜合利用；廢活性炭廠家維護回收

；廢滲透膜

、生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門清運處置

。

5、其它

公司污水處理處理系統(tǒng)排放口

、總排口設置了在線監(jiān)測裝置，運維單位為麗水同泰環(huán)?div id="4qifd00" class="flower right">

？萍加邢薰荆?/span>已基本落實環(huán)境風險防范措施

，設有1座地埋式應急池640m³

，并制定了環(huán)境風險事故應急預案

，已備案（331102-2023-53-H）

。

四、環(huán)境保護設施調(diào)試效果

、廢水

根據(jù)監(jiān)測結(jié)果

，公司總排口廢水中pH值范圍、懸浮物

、化學需氧量、總磷

、總氮

、氟化物

、石油類排放濃度均符合《電子工業(yè)水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值，其中氨氮排放符合《工業(yè)企業(yè)廢水氮

、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標準限值要求；動植物油和五日生化需氧量符合《污水綜合排放標準》（GB8978-1996）中三級標準要求

。

項目含氨廢水處理設施化學需氧量處理效率為90.26%

。酸堿廢水處理信息氨氮處理效率為92.10%，含氨廢水處理設施氨氮處理效率為96.10%

，含氟廢水處理設施氟化物處理效率為43.47%，含氨廢水處理設施總氮處理效率為87.95%

。

2、廢氣

無組織排放：公司廠界無組織顆粒物

、氯化氫、氟化物

、氮氧化物濃度均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）無組織標準要求；氨氣

、臭氣濃度符合《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）廠界標準要求。

敏感點環(huán)境空氣中總懸浮顆粒物

、氟化物、氮氧化物均符合《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》（GB3095-2012）及修改單中二級標準要求

。特征污染物氯化氫、氨氣符合環(huán)評提出標準要求（HJ2.2-2018附錄D）

。

有組織排放：驗收監(jiān)測期間，公司干式酸排排氣筒出口氯化氫

、顆粒物排放均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求。濕式酸排排氣筒出口氟化物

、氮氧化物排放均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求。堿排排氣筒出口氨氣排放符合《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）中排放速率要求

。天然氣燃燒廢氣排氣筒出口顆粒物

、二氧化硫

、氮氧化物

、煙氣黑度排放均符合《鍋爐大氣污染物排放標準》（GB13271-2014）中新建燃氣鍋爐特別排放標準要求及《燃氣鍋爐低氮改造工作技術(shù)指南（試行）》標準要求。污水站臭氣排氣筒出口臭氣濃度

、氨

、硫化氫排放均符合《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）中標準要求

。氣站酸性廢氣排氣筒出口氯化氫排放符合《大氣污染物排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求

。

、噪聲

驗收監(jiān)測期間，公司廠界東側(cè)晝間和夜間噪聲符合《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中3類標準要求

，其中南側(cè)

、西側(cè)、北側(cè)滿足4a類標準要求

。

敏感點晝間和夜間噪聲符合《聲環(huán)境質(zhì)量標準》（GB3096-2008）中2類標準要求

。

4、總量控制情況：根據(jù)驗收期間監(jiān)測結(jié)果核算

，項目實際排放量為COD：16.88t/a

、NH₃-N：0.844t/a、SO₂：0.004t/a

、NO_X：0.066t/a，符合環(huán)評總量控制要求

。

五、驗收結(jié)論

依據(jù)《建設項目竣工環(huán)境保護驗收暫行辦法》（國環(huán)規(guī)環(huán)評[2017]4號）

，浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行環(huán)保手續(xù)齊全。根據(jù)《浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測表》等資料及環(huán)境保護設施建設情況

，企業(yè)基本按照建設項目環(huán)境保護“三同時”的有關要求落實了各項環(huán)境保護設施與措施

，并按要求公示驗收情況。

公示日期：2024年6月14日-7月14日

聯(lián)系人

、電話：姚繼斌 13735387965

公示網(wǎng)站：http://www.yabulihuaxue.net/default.aspx?pageid=65

中欣晶圓半導體驗收監(jiān)測報告.pdf

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